為什么要選擇主動(dòng)隔振系統(tǒng)？

? 從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無法起到有效的隔振

? 提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

? 更加細(xì)小特色的成像能力

? 前沿研究

? 比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定

? 滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的**解決方案

? 使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低

主動(dòng)隔振系統(tǒng)為何選擇STACIS

? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環(huán)境。

? 市場(chǎng)上**強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。

? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿足。

? STACIS**發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍

穩(wěn)定時(shí)間作為對(duì)擾動(dòng)的響應(yīng)，由于串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺(tái)面的情況下。

如下優(yōu)勢(shì)在業(yè)內(nèi)都是**的

? STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

? 6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB 

? 從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB) 

專業(yè)的環(huán)境調(diào)查

1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波

2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

? 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

? 開具專業(yè)環(huán)境報(bào)告

? 提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測(cè)及解決方案

? TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶推薦實(shí)用性方案 

? 40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的**

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域

1、微電子、半導(dǎo)體

? 晶片檢測(cè)

? 顯微光刻技術(shù)

? 掩膜校準(zhǔn)

2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

? SEM、TEM

? STEM、SPM

3、激光臺(tái)

? 生命科學(xué)、藥物研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

? 精密加工

應(yīng)用照片